Vakuuminių komponentų sudėtyje yra sausos vakuumo siurblių, vožtuvų ir skerspjūvių.
Gaminti naudojant pažangius gamybos procesus, šie komponentai plačiai naudojami tokiose pramonės šakose kaip fizinės ir cheminės medžiagos mokslas, ličio baterijos, saulės elementai, farmacijos ir kt.