perovskitas

OLED/Pled ir saulės elementų naudojimas

tinkamas metalo, puslaidininkų, oksidantinių ir organinių plėvelų, OLED, Pled, saulės ir kitų programų gamybai

Paros aparatas bus integruotas į rankuvių dėžės viršelį arba sienos dalį.rankšluostinės dėžutė

su didelio tūrio valytuvu, kurio galima pasiekti H2O ir O2 grynumas mažesnis kaip 1 ppm

su ultrašvariu valymo sistema viršuje

statiniame procese pirštinių dėžutės švarumas gali siekti 10

filtravimo dalelių dydis: 0,12μm

aukštos efektyvumo filtras h13 klasė iki labai aukštos efektyvumo filtras u15 klasė

Įtraukiamas į daugelį konfigūracijų ir darbo stotis dydžių