OLED/Pled ir saulės elementų naudojimas

tinkamas metalo, puslaidininkų, oksidantinių ir organinių plėvelų, OLED, Pled, saulės ir kitų programų gamybai
išgarintuvas būtų integruotas į pirštinės dėžutės grindis arba šonines sienas
su didelio tūrio valytuvu, kurio galima pasiekti H2O ir O2 grynumas mažesnis kaip 1 ppm
su ultrašvariu valymo sistema viršuje
statiniame procese pirštinių dėžutės švarumas gali siekti 10
filtravimo dalelių dydis: 0,12μm
aukštos efektyvumo filtras h13 klasė iki labai aukštos efektyvumo filtras u15 klasė
Įtraukiamas į daugelį konfigūracijų ir darbo stotis dydžių

pažangios

Individualūs sprendimai1