LT
- Prietaisai
Prietaisai
- tinkamas metalo, puslaidininkų, oksidantinių ir organinių plėvelų, OLED, Pled, saulės ir kitų programų gamybai
- Paros aparatas bus integruotas į rankuvių dėžės viršelį arba sienos dalį.rankšluostinės dėžutė
- su didelio tūrio valytuvu, kurio galima pasiekti H2O ir O2 grynumas mažesnis kaip 1 ppm
- su ultrašvariu valymo sistema viršuje
- statiniame procese pirštinių dėžutės švarumas gali siekti 10
- filtravimo dalelių dydis: 0,12μm
- aukštos efektyvumo filtras h13 klasė iki labai aukštos efektyvumo filtras u15 klasė
- Įtraukiamas į daugelį konfigūracijų ir darbo stotis dydžių
