OLED/Pled ir saulės elementų naudojimas

tinkamas metalo, puslaidininkų, oksidantinių ir organinių plėvelų, OLED, Pled, saulės ir kitų programų gamybai

tinkamas metalo, puslaidininkų, oksidantinių ir organinių plėvelų, OLED, Pled, saulės ir kitų programų gamybai
Paros aparatas bus integruotas į rankuvių dėžės viršelį arba sienos dalį.rankšluostinės dėžutė
su didelio tūrio valytuvu, kurio galima pasiekti H2O ir O2 grynumas mažesnis kaip 1 ppm
su ultrašvariu valymo sistema viršuje
statiniame procese pirštinių dėžutės švarumas gali siekti 10
filtravimo dalelių dydis: 0,12μm
aukštos efektyvumo filtras h13 klasė iki labai aukštos efektyvumo filtras u15 klasė
Įtraukiamas į daugelį konfigūracijų ir darbo stotis dydžių

pažangios

Individualūs sprendimai1