Pirm - Penkt: 9:00 - 19:00
Kaip perkelti didelę įrangą į pirštinių dėžutę?
A. Naudojant pasirinktinį padidintą antechamberį:
Didelei įrangai, kurios negalima perkelti per standartinį antechamberį, galima apsvarstyti pasirinktinį, padidintą antechamberį. Tai leidžia saugiai perkelti didelius įrenginius nepakenkiant pirštinių dėžutės vidinei aplinkai.
B. Įrangos išmontavimas:
Didelei modulinei įrangai, kurią galima padalyti į mažesnes dalis, apsvarstykite galimybę ją išardyti į atskirus modulius. Tada šiuos modulius galima perkelti per antechamberį po vieną ir vėl surinkti pirštinių dėžutės viduje.
C. Pirštinių dėžutės lango nuėmimas:
Šis metodas leidžia tiesiogiai įdėti įrangą į pirštinių dėžutę. VTI naudoja vakuuminio sandarinimo flanšo langą, todėl jį patogu išimti ir vėl įdiegti. Tačiau rekomenduojama kuo labiau sumažinti langų pašalinimo dažnumą, nes dažnas išmontavimas gali pakenkti pirštinių dėžutės sandarumui.
Nata:
Autorių teisės © 2024 m. "Vacuum Technology Inc."