長期休暇後のグローブボックス再起動手順 | バキュームテクノロジー株式会社

再起動の手順グローブボックス長期休暇後のシャットダウン

• 損傷の確認:
  グローブボックスの外側に損傷がないか確認してください。グローブに老朽化、ひび割れ、その他の損傷の兆候がないか調べ、必要に応じて交換してください。
• 外側を掃除する:
  グローブボックスの外側を清掃して、ほこりや蓄積した汚染物質を取り除きます。
• 作動ガスを準備します。
  必要なガス供給が準備されていることを確認します（シングルステーショングローブボックスの場合は2本のシリンダー、ダブルステーショングローブボックスの場合は3本のシリンダー）、 等々) ガス接続が確実であることを確認します。
• 電源を接続します:
  グローブボックスに差し込み、電源ケーブルに損傷、磨耗、接続の緩みがないか確認します。
• 電源を入れて漏れがないか確認します:
  主電源スイッチをオンにして、ガス圧力レギュレータを開きます。ガス ライン、グローブ ボックス チャンバー、トランスファー アンテチャンバーでリーク テストを実行し、漏れがないことを確認します。
• パージをアクティブにする:
  オンにするアナライザーと始めるそのパージプロセス.
• 循環を始める:
  湿度と酸素レベルが100 ppm以下（理想的には50 ppm以下）になるまで継続して purge します。達成したら、グローブボックスの循環機能を活性化させて残留湿度と酸素を除去し、1 ppm未満の環境を維持します。<br>H2OとO2。
• オペレータートレーニングを実施する:
  適切なグローブボックスの操作、安全対策、およびメンテナンス手順。