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Oリング真空シールフランジウィンドウグローブボックス
フランジタイプOリング密閉窓
ワンカットフライス加工によるインターラルフランジ成形
真空Oリングシーリング、「O」漏れ率
簡単な分解と再組み立て/メンテナンスに便利
従来のウィンドウの欠点----------------------------------------------------------------------------------------------------
●フランジなし、シーリング溝なし:支持面は、平坦性が悪く支持力が弱いチャンバープレートを曲げてスプライシングすることによって形成されます。そして、Oリングは支持面に接着されています。
●シーリング方法:中空Oリングは、ガラスと支持面の間に配置されます。
●中空Oリング:中空Oリングの圧縮変形により、支持面の凹凸が補正されます。中空直径は約2 4mmで、一部の低品質のOリングは最大10mmです。また、Oリングを押すとシワができ、漏れ率が高くなり、シールの信頼性が低下します。
●真空シールではなく、一種の単純なメカニカルシール。
●シール面を加工できない大型の薄肉部品のシールや、品質要件のない非真空機器の簡単なシールに適用できます。
●窓のシーリングのためのフランジはintegrallyprocessされます、ワンカットフライス加工を使用大型のガントリーマシンにより、シーリング溝とシーリング面に継ぎ目がなく、flatness< 0.lmm/m.
●溝とチャンバー本体と統合されたフランジの1回限りのレーザー溶接。with welding deformation<0.2mm.
●窓の分解と再組み立てが簡単操作やメンテナンスに便利です。エンドユーザーは、専門家の助けを借りずに、自分でWindowdisassemblyの世話をすることができます。
●フランジタイプOリングthesealing溝、真空air-tight seal.withの方法、ブレークポイントおよび継ぎ目、強い耐食性および全面的なグローブボックスを改善するよいシーリング性能の方法に埋め込まれます leakage rate to <0.0006vol%/h.
●真空装置のビューウィンドウとシーリングドアのシーリングに適用できます。
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