グローブボックスのパージに関する重要な注意事項 - 最適なパフォーマンスのためのベストプラクティス | バキュームテクノロジー株式会社

重要なメモforグローブボックスパージング

Purgingの定義
パージとは、グローブボックスのメインチャンバー内の空気を高純度の不活性ガスに置き換えて、H₂O と O₂ の少ない環境を実現することです。このプロセスは循環を開始する前に非常に重要であり、通常は設置時、サービスのために窓を開けた後、または溶剤を取り扱うときに実行されます。

重要なメモ

• ガスシリンダーレギュレーターを 60 ～ 80 psi に設定します。圧力が不十分だと、効果的なパージができなくなる可能性があります。
• グローブボックスに有機溶剤が入っている場合は、排気ポートが施設の排気システムに正しく接続され、期待どおりに機能していることを確認してください。
• 標準パージ中は、グローブボックスのメインチャンバー圧力を約 1 mbar (相対圧力) に維持します。
• ガスシリンダーがパージ中に空になった場合は、まずタッチスクリーンの「パージ」機能を無効にし、ガスシリンダーレギュレーターを閉じます。シリンダーを交換する前に、レギュレーターの二次ゲージがゼロ圧力を示していることを確認します。交換後、ガスラインのリークテストを実行して漏れがないことを確認してから、「パージ」機能を再度有効にします。
• パージングが通常の時間やガス消費を超えて延長され、湿気や酸素レベルが許容範囲外に残る場合は、漏れを再確認するか、ＶＴＩサービスエンジニアに支援を依頼してください。