เพรอฟสกิต
เหมาะสําหรับโลหะ, ครึ่งตัวนํา, การออกซิเดน, และฟิล์มอินทรีย์, OLED, Pled, โซลารี และการใช้งานอื่น ๆ
อีวาเปอร์จะรวมอยู่ในพื้นหรือผนังข้างของกล่องถุงมือ
- อุปกรณ์เสริม
อุปกรณ์เสริม
OLED/Pled และการใช้งานเซลล์แสงอาทิตย์
เหมาะสําหรับโลหะ, ครึ่งตัวนํา, การออกซิเดน, และฟิล์มอินทรีย์, OLED, Pled, โซลารี และการใช้งานอื่น ๆ
เครื่องระเหิดจะถูกผสานเข้ากับพื้นหรือผนังด้านข้างของกล่องถุงมือ
เครื่องล้างความจุสูงที่มีความบริสุทธิ์ของ h2o และ o2 ที่สามารถบรรลุได้น้อยกว่า 1ppm
มีระบบระบายน้ําที่สะอาดสุดบน
ในกระบวนการสแตตติก ความสะอาดของกล่องถุงมือสามารถถึง 10
ขนาดอนุภาคการกรอง: 0.12μm
ไฟล์เตอร์ประสิทธิภาพสูงระดับ h13 ถึง ไฟล์เตอร์ประสิทธิภาพสูงสุดระดับ u15
มีให้เลือกในหลายรูปแบบและขนาดของสถานีทํางาน