วิธีการโอนอุปกรณ์ขนาดใหญ่ไปในกล่องถุงมือ - คู่มือก้าวต่อก้าว | Vacuum Technology Inc

วิธีการถ่ายโอนอุปกรณ์ขนาดใหญ่เข้าสู่ กล่องถุงมือ ?

A. การใช้ห้องผ่านทางพิเศษที่ขยายขนาด:
สำหรับอุปกรณ์ขนาดใหญ่ที่ไม่สามารถย้ายผ่านห้องผ่านทางมาตรฐานได้ สามารถพิจารณาใช้ห้องผ่านทางที่ขยายขนาดขึ้นพิเศษ เพื่ออนุญาตให้ย้ายอุปกรณ์ขนาดใหญ่ได้อย่างปลอดภัยโดยไม่กระทบต่อสภาพแวดล้อมภายในกล่องถุงมือ

B. การแยกชิ้นส่วนของอุปกรณ์:
สำหรับอุปกรณ์ขนาดใหญ่ที่ประกอบเป็นโมดูลและสามารถแยกออกเป็นส่วนย่อยได้ ควรพิจารณาแยกชิ้นส่วนออกเป็นโมดูลแต่ละส่วน จากนั้นย้ายโมดูลเหล่านี้ผ่านห้องผ่านทางทีละชิ้นแล้วประกอบใหม่ภายในกล่องถุงมือ

C. การถอดกระจกของกล่องถุงมือ:

วิธีนี้ช่วยให้สามารถวางอุปกรณ์ลงในกล่องถุงมือได้โดยตรง VTI ใช้ หน้าต่างฟลานจ์สูญญากาศ ซึ่งทำให้การถอดและติดตั้งใหม่สะดวก อย่างไรก็ตาม แนะนำให้ลดความถี่ในการถอดหน้าต่าง เนื่องจากการถอดประกอบบ่อยครั้งอาจทำให้ความสมบูรณ์ของการปิดผนึกของกล่องถุงมือเสียหาย

หมายเหตุ:

• แนะนำให้การถอดและติดตั้งกระจกใหม่ทำโดยบุคลากรที่มีความรู้เพียงพอ เพื่อให้มั่นใจในการจัดการที่ถูกต้องและปลอดภัย

• ใช้เครื่องมือที่เหมาะสมระหว่างการถอดกระจก และระมัดระวังไม่ให้กระทบต่อการปิดสนิทของกล่องถุงมือในกระบวนการนี้ วางอุปกรณ์ลงอย่างระมัดระวังภายใน โดยหลีกเลี่ยงการสัมผัสกับผนังกล่องถุงมือหรือชิ้นส่วนที่ไวต่อแรงกระแทก
• หลังจากติดตั้งใหม่แล้ว ให้ทำการทดสอบความสมบูรณ์ของผนึกอย่างละเอียดเพื่อให้มั่นใจว่าไม่มีการรั่วไหลของก๊าซ