Aplikimi i OLED/PLED dhe Celula Lorje

E përshtatshme për metale, semi-konduktoret, film të oksiduar, dhe film orgjanko, OLED, PLED, Solar, dhe aplikime të tjera

Evaporatori do të integrohet nëpër fund ose murrën tepër të Kutinë e dorezave

Me Purifikator me kapacitete larg me purecye që mund të arrin H2O dhe O2 më pak se 1ppm

Me Sistemi Ultra-i Larg Purifikimi në krye

Në procesin stacionar, e lehtësia e kutisë gredhje mund të arrin 10

Madhësia e filtrimit: 0.12μm

Filtror H13 gradë efikasitet larg deri në U15 gradë ultra-efikasitet larg

Larg në shumë konfigurime dhe madheshi stacioneve të punës