SQ
- pajisje
pajisje
- e përshtatshme për metale, gjysmëpërçues, oksidimi dhe film organik, oled, pled, diell dhe aplikacione të tjera
- Evaporatori do të integrohet nëpër fund ose murrën tepër tëkuti dorezave
- me pastrues me kapacitet të lartë me pastërti të arritshme të h2o dhe o2 më pak se 1ppm
- me sistem ultra-të pastër pastrimi në krye
- Në procesin statik, pastërtia e kutive të dorezave mund të arrijë në 10
- madhësia e grimcave të filtracionit: 0.12μm
- Filtri me efikasitet të lartë gradë h13 deri në filtrin me efikasitet shumë të lartë gradë u15
- I disponueshëm në shumë konfigurime dhe madhësi të stacioneve të punës
