- Dodatki
Dodatki
OLED/PLED in solarni celici aplikacija
Primeren za metal, polprevodnik, oksidacijsko in organsko filmo, OLED, PLED, Sončne pladnje in druge uporabe
Evaporator bi bil integriran v podlaho ali bočno steno rukavice zanke Prstnice
S visoko kapaciteto počistilnika z dosegljivo čistočnostjo H2O in O2 manjšo od 1 ppm
Z ultračistim počistilnim sistemom na vrhu
V statičnem procesu lahko čistočnost glovoveje doseže 10
Velikost filtriranega delca: 0.12 μm
Visoke učinkovite filtre H13 razreda do zelo visoke učinkovite filtre U15 razreda
Na voljo v več konfiguracijah in velikostih delovnih postaj