W jaki sposób komora podręczna usuwa i utrzymuje niski poziom H₂O i O₂?
- Gaz roboczy w komorze rękawicowej jest w sposób ciągły recyrkulowany w systemie zamkniętej pętli między komorą główną komory rękawicowej a oczyszczaczem (przeznaczonym do adsorpcji wilgoci i tlenu). Proces ten jest kontrolowany i monitorowany przez sterownik PLC, wykorzystujący rurociągi, wentylatory cyrkulacyjne i inne zintegrowane komponenty.
- Gdy gaz roboczy przechodzi przez oczyszczacz, wilgoć i tlen są skutecznie adsorbowane, a oczyszczony gaz jest recyrkulowany z powrotem do komory rękawicowej. Z biegiem czasu ten trwający proces obniża poziom wilgoci i tlenu do poziomu poniżej 1 ppm.
- Kiedy oczyszczacz zostanie nasycony, mogą zostać odnowione poprzez regenerację, zapewniając ciągłą wydajną absorpcję wilgoci i tlenu.
EN
