perovskit
sesuai untuk logam, semikonduktor, pengoksidaan, dan filem organik, oled, pled, solar, dan aplikasi lain
penguap akan disatukan ke dalam sama ada lantai atau dinding sisi kotak sarung tangan
- Aksesori
Aksesori
OLED/Pled dan penggunaan sel solar
sesuai untuk logam, semikonduktor, pengoksidaan, dan filem organik, oled, pled, solar, dan aplikasi lain
Evaporator akan diintegrasikan ke dalam lantai atau dinding sisikotak sarung tangan
dengan pembersih kapasiti tinggi dengan kemurnian yang boleh dicapai h2o dan o2 kurang daripada 1ppm
dengan sistem pemurnian ultra-bersih di bahagian atas
dalam proses statik, kebersihan kotak sarung tangan boleh mencapai 10
Saiz zarah penapisan: 0.12μm
gred penapis kecekapan tinggi h13 hingga gred penapis kecekapan ultra tinggi u15
terdapat dalam banyak konfigurasi dan saiz stesen kerja