중요 참고 사항글로브 박스 퍼징용
Purge의 정의
퍼징에는 글로브 박스의 메인 챔버 내부의 공기를 고순도 불활성 가스로 교체하여 낮은 H₂O 및 O₂ 환경을 달성하는 작업이 포함됩니다. 이 과정은 순환을 시작하기 전에 매우 중요하며 일반적으로 설치 중, 서비스를 위해 창을 연 후 또는 용제를 취급할 때 수행됩니다.
중요 참고 사항
- 가스 실린더 레귤레이터를 60-80psi로 설정합니다. 압력이 충분하지 않으면 효과적인 퍼지를 방해할 수 있습니다.
- 글로브 박스에 유기 용제가 포함되어 있는 경우 배기 포트가 시설의 환기 시스템에 제대로 연결되어 있고 예상대로 작동하는지 확인하십시오.
- 표준 퍼지 중에는 글로브박스 메인 챔버 압력을 약 1mbar(상대 압력)로 유지하십시오.
- 퍼지 중에 가스 실린더가 고갈되면 먼저 터치스크린의 "퍼지" 기능을 비활성화하고 가스 실린더 조절기를 닫으십시오. 실린더를 교체하기 전에 레귤레이터의 보조 게이지가 0 압력을 가리키는지 확인하십시오. 교체 후 가스 라인에 대한 누출 테스트를 수행하여 누출이 없는지 확인한 다음 "퍼지" 기능을 다시 활성화하십시오.
- 퍼지가 일반적인 시간 또는 가스 소비량을 초과하고 수분 또는 산소 수준이 허용 한계를 벗어나면 누출을 다시 확인하거나 VTI 서비스 엔지니어에게 도움을 요청하십시오.
EN
