대형 장비를 글로브박스로 옮기는 방법 - 단계별 가이드 | 진공 기술 주식회사

대형 장비를 어떻게 옮길까 장갑상자 ?

A. 맞춤형 확대된 안테룸 사용:
표준 안테룸을 통해 이동할 수 없는 큰 장비의 경우, 맞춤형으로 확대된 안테룸을 고려할 수 있습니다. 이는 글러브박스의 내부 환경을 손상시키지 않고 큰 장치를 안전하게 이동할 수 있도록 합니다.

B. 장비 분해하기:
더 작은 부품으로 나눌 수 있는 큰 모듈식 장비의 경우, 개별 모듈로 분해한 후 안테룸을 통해 하나씩 이동하고 글러브박스 내부에서 재조립할 수 있습니다.

C. 글러브박스 창 제거하기:

이 방법은 장비를 글로브박스에 직접 배치할 수 있게 해줍니다. VTI 사용되는 진공 밀봉 플랜지 창 , 제거 및 재설치가 편리합니다. 그러나 창의 제거 빈도를 최소화하는 것이 좋습니다. 자주 분해하면 글로브박스의 밀봉 무결성이 손상될 수 있습니다.

주의:

• 창의 제거 및 재설치는 적절한 처리와 안전을 보장하기 위해 자격을 갖춘 인원이 수행하는 것이 권장됩니다.

• 창 제거 시 적절한 도구를 사용하고 과정 중 글러브박스의 밀폐성을 손상시키지 않도록 주의하세요. 장비를 조심스럽게 내부에 배치하고, 글러브박스 벽이나 민감한 구성 요소와의 접촉을 피하세요.
• 재설치 후 가스 누출이 없는지 확인하기 위해 완전한 밀폐 성능 테스트를 수행하십시오.