VTI 글로브박스 재생은 얼마나 걸립니까? | VTI (영문)

• Step1 : 3 시간 동안 가열  

• Step2 : 3 시간 동안 가열 및 헹굼 

전체 공정에서 재생 가스 흐름이 15-20L/min 사이가 되도록 유지 보수 담당자가 특별한 주의를 기울여야 합니다.

• Step3 : 6 시간 동안 진공 청소기로 청소하기 

• Step4: 8시간 동안 냉각 및 압력 밸런싱