- model
- spesifikasi
- fitur
- Keuntungan
- Aksesoris
model
model | Super | Universal | maju | Pro | |
permukaan operasi Ukuran (mm) Aku akan pergi. |
stasiun tunggal (satu sisi) |
1220×750×900 |
1220×750×900 | 1220×750×900 | |
stasiun ganda (sided) |
2440×750×900 1800×750×900 |
2440×750×900 1800×750×900 |
2440×750×900 1800×750×900 |
||
stasiun ganda (berlawanan) | 1220 × 1000 × 900 | 1220 × 1000 × 900 | 1220 × 1000 × 900 | ||
sarung tangan tiga (satu sisi) |
1500×750×900 1800×750×900 |
1500×750×900 1800×750×900 |
1500×750×900 1800×750×900 |
||
tiga stasiun (satu sisi) | 3660 × 750 × 900 | 3660 × 750 × 900 | 3660 × 750 × 900 | ||
4 stasiun (satu sisi) | 4880 × 750 × 900 | 4880 × 750 × 900 | 4880 × 750 × 900 | ||
4 stasiun (berlawanan) | 2440 × 1000 × 900 | 2440 × 1000 × 900 | 2440 × 1000 × 900 | ||
6 stasiun (berlawanan) |
3660 × 1000 × 900 3660 × 1200 × 900 |
3660 × 1000 × 900 3660 × 1200 × 900 |
3660 × 1000 × 900 3660 × 1200 × 900 |
||
8 stasiun (berlawanan) |
4880 × 1000 × 900 4880 × 1200 × 900 |
4880 × 1000 × 900 4880 × 1200 × 900 |
4880 × 1000 × 900 4880 × 1200 × 900 |
||
12 stasiun (berlawanan) | 7320 × 1000 × 900 | 7320 × 1000 × 900 | 7320 × 1000 × 900 | ||
sistem kontrol | Siemens S7 | Siemens S7 | Siemens S7 | Siemens S7 | |
layar sentuh | Siemens S7 "touchscreen | Siemens S7 "touchscreen | Siemens S7 "touchscreen | Siemens S7 "touchscreen | |
kolom pemurnian | kolom | kolom | kolom ganda | kolom/kolom ganda | |
kipas angin | 90 m3 / jam | 90 / 145 / 180 m3 / jam | 90 / 145 / 180 m3 / jam | 90 / 145 / 180 m3 / jam | |
Pompa vakum | 8 m3 / jam | 8 / 12 / 16 m3 / h | 8 / 12 / 16 m3 / h | 8 / 12 / 16 m3 / h | |
indikator air | < 1 ppm | < 1 ppm | < 1 ppm | < 1 ppm | |
indeks oksigen | < 1 ppm | < 1 ppm | < 1 ppm | < 1 ppm | |
Antechamber kecil | 150 mm (5.9) atau 100 mm (3.9), panjang 300 mm (11.8) | 150 mm (5.9) atau 100 mm (3.9), panjang 300 mm (11.8) | 150 mm (5.9) atau 100 mm (3.9), panjang 300 mm (11.8) | ||
ruang depan besar | 360mm (14.2) atau 400mm (15.7), panjang 600mm (23.6) | 360mm (14.2) atau 400mm (15.7), panjang 600mm (23.6) | 360mm (14.2) atau 400mm (15.7), panjang 600mm (23.6) | ||
menerapkan |
R&D untuk lembaga penelitian universitas |
serbaguna cocok untuk penelitian dan produksi skala kecil |
produksi cocok untuk produksi skala besar yang efisien |
R & D/serbaguna/produksi | |
spesifikasi
fitur: |
|
|
|
|
|
ruang utamaUkuran |
||
panjang |
1220mm (48.0”) |
|
kedalaman |
750 mm (29.5) |
|
tinggi |
900m (35.4) |
|
bahan |
baja tahan karat tipe 304, ketebalan 3 mm (1/8) |
|
jendela pandang |
miring, kaca pengaman, ketebalan 8 mm (1/3) |
|
Gelas pelabuhan |
pom (polioksimetilen), diameter 220 mm (8,7) |
|
sarung tangan |
butil 8b1532 |
|
Filter debu |
hepa 0,3μ, satu inlet gas, satu outlet gas |
|
rak |
baja tahan karat, dua rak tetap (rak yang dapat disesuaikan tersedia) |
|
pencahayaan: |
lampu led eksternal, dipasang di depan di atas kaca penglihatan |
|
feedthroughs |
satu input daya, 3 blind-flanges |
|
ruang depan besar |
||
diameter |
360mm (14.2) atau 400mm (15.7), panjang 600mm (23.6) |
|
fitur |
dengan baki geser pintu kunci spindle operasi vertikal dengan mekanisme angkat operasi otomatis melalui katup solenoid |
|
Antechamber kecil |
||
diameter |
150 mm (5.9) atau 100 mm (3.9), panjang 300 mm (11.8) | |
fitur |
pintu engsel |
|
Pembersih |
||
fitur |
Penghapusan h2o dan o2kurang dari 1 ppm kelembaban dan oksigen |
|
Unit penyerap: 5kg katalis tembaga,5kg saringan molekul |
||
kapasitas untuk menghilangkan oksigen, 60 l, kelembaban 2000g. |
||
alat pengembung yang terkapsul: 90m3/h |
||
regenerasi: PLC mengendalikan semua proses termasuk pemanasan, memperkenalkan gas campuran (gas kerja dicampur dengan hidrogen 5-10%), dll. |
||
kontrol sistem |
||
plc dan HMI: Siemens S7 |
||
Pompa vakum |
||
8m3/h pompa rotary vane dengan filter kabut minyak dan balast gas |
fitur
Keuntungan
fitur/komponen | Deskripsi/detail | |
---|---|---|
1 | Pembersih kapasitas tinggi | - Penghapusan cepat h2o dan o2 menjadi kurang dari 1 ppm<br>- interval panjang antara siklus regenerasi |
2 | kontrol plc dan layar sentuh warna hmi | - pembersihan otomatis; sirkulasi; regenerasi; kontrol tekanan<br>- antarmuka yang mudah digunakan |
3 | long life humidity and oxygen analyzers (penganalisis kelembaban dan oksigen umur panjang) | - sensor kelembaban p2o5: tahan korosi, dapat diperbarui dengan pembersihan asam jika terkontaminasi oleh hf atau lingkungan korosif lainnya<br>- sensor oksigen zro2: sensor padat, umur panjang dapat terkena udara tanpa konsumsi |
4 | kotak sarung tangan khusus | - tim teknik kami dapat membantu mengubah ide Anda menjadi solusi |
5 | pipa gas dan konektor baja tahan karat | - semua kotak sarung tangan telah ditingkatkan ke pipa stainless steel dan konektor dengan ketahanan korosi yang jauh lebih tinggi untuk lingkungan yang sangat korosif |
Aksesoris
pilihan aksesoris: | ||
sensor kelembaban | sensor oksigen | penampung pelarut |
Antechamber yang dipanaskan | kulkas | sumur dingin |
unit mikroskop | ionisator tanpa kipas | berbagai saluran umpan |
pilihan lainnya: | |
ukuran kotak yang disesuaikan |
Mengintegrasikan instrumen pelanggan ke dalamkotak sarung tangan, seperti evaporator, Sistem ALD dan Spin Coater dll. |
jendela polikarbonat |
Antechamber dengan pintu yang terkunci |
ruang kecil dengan baki geser | Pengisian ulang antekamar saja tanpa vakum |
Antechamber mengisi ulang dari tabung gas bukan kotak | Antechamber persegi panjang |
rak fleksibel diatur ke atas dan ke bawah diatur ke depan dan ke belakang |
Pompa putar 12m3/h |
pompa gulung kering |
layanan cepat |