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OLED/Pled और सौर सेल अनुप्रयोग
- धातु, अर्धचालक, ऑक्सीकरण, और कार्बनिक फिल्म, ओएलईडी, पीएलडी, सौर और अन्य अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त
- वाष्पीकरण दस्ताने बॉक्स के फर्श या साइड दीवार में एकीकृत किया जाएगा
- उच्च क्षमता वाले शुद्धिकरण के साथ, h2o और o2 की शुद्धता 1ppm से कम प्राप्त की जा सकती है
- ऊपर पर अति-स्वच्छ शुद्धिकरण प्रणाली के साथ
- स्थैतिक प्रक्रिया में, दस्ताने बॉक्स की स्वच्छता 10 तक पहुंच सकती है
- निस्पंदन कण आकारः 0.12μm
- उच्च दक्षता फिल्टर h13 ग्रेड से अति उच्च दक्षता फिल्टर u15 ग्रेड तक
- कई विन्यासों और कार्य स्टेशन आकारों में उपलब्ध है
