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Solutions sur mesure1

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Accès à l'appareil

application OLED/Pled et de cellules solaires

pour les métaux, les semi-conducteurs, les films oxydants et organiques, les OLED, les PED, les applications solaires et autres

L'évaporateur serait intégré soit dans le sol soit dans le mur latéral deboîte à gants

d'une capacité de purification élevée avec une pureté atteignable de moins de 1 ppm d'h2o et d'o2

avec un système de purification ultra-propre au sommet

Dans le processus statique, la propreté de la boîte à gants peut atteindre 10

taille des particules de filtration: 0,12 μm

filtres à haut rendement de qualité h13 à filtres à ultra-haut rendement de qualité u15

disponible dans de nombreuses configurations et tailles de postes de travail

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