application OLED/Pled et de cellules solaires

pour les métaux, les semi-conducteurs, les films oxydants et organiques, les OLED, les PED, les applications solaires et autres
l'évaporateur serait intégré soit dans le sol, soit dans la paroi latérale de la boîte à gants
d'une capacité de purification élevée avec une pureté atteignable de moins de 1 ppm d'h2o et d'o2
avec un système de purification ultra-propre au sommet
Dans le processus statique, la propreté de la boîte à gants peut atteindre 10
taille des particules de filtration: 0,12 μm
filtres à haut rendement de qualité h13 à filtres à ultra-haut rendement de qualité u15
disponible dans de nombreuses configurations et tailles de postes de travail

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