EN
application OLED/Pled et de cellules solaires
- pour les métaux, les semi-conducteurs, les films oxydants et organiques, les OLED, les PED, les applications solaires et autres
- Accès à l'appareil
Accès à l'appareil
- pour les métaux, les semi-conducteurs, les films oxydants et organiques, les OLED, les PED, les applications solaires et autres
- L'évaporateur serait intégré soit dans le sol soit dans le mur latéral de laboîte à gants
- d'une capacité de purification élevée avec une pureté atteignable de moins de 1 ppm d'h2o et d'o2
- avec un système de purification ultra-propre au sommet
- Dans le processus statique, la propreté de la boîte à gants peut atteindre 10
- taille des particules de filtration: 0,12 μm
- filtres à haut rendement de qualité h13 à filtres à ultra-haut rendement de qualité u15
- disponible dans de nombreuses configurations et tailles de postes de travail
