FI
- Lisävarusteet
Lisävarusteet
- jotka soveltuvat metalli-, puolijohteiset, hapettavat ja orgaaniset kalvot, oled-kalvot, pled-kalvot, aurinkokapasiteetti ja muut sovellukset
- Höytytyslaitteisiin voidaan integroida joko pötkyn tai sivuseinän sisäänkäsärypussit
- joissa on suurtehoinen puhdistusaine, jonka saavutettavissa oleva puhtaus on alle 1 ppm
- jossa on yläosassa erittäin puhdas puhdistusjärjestelmä
- Staattisessa prosessissa hansikkauslaatikon puhtaus voi olla 10
- suodatushiukkasten koko: 0,12 μm
- korkeatasoinen suodatin luokkaa h13 - erittäin korkeatasoinen suodatin luokkaa u15
- saatavilla monissa kokoissa ja työasemien kokoissa
