Üldine ((2440/750/900)
VTI universaalkäepideme kasti kasutatakse tavaliselt Uuringute ja arendustegevuse rakendused ja väikeste tootmismahakeskkonnad
- Tarvikud
Tarvikud
Üldised kindalümbad
TheVTIÜldine kindalkäepidemega kast kasutatakse tavaliselt Uuringute ja arendustegevuse rakendused ja väikeste tootmismahakeskkonnad
Ühe või mitme tööjaama puhul pakub VTI Universal-käepideme kast teile ruumi ja süsteeme, mis on vajalikud inertsete keskkonnas säilitamiseks, võimaldades samas tootmises kasutust. Kõik Universal'i kindalaadised pakuvad integreeritud gaasi puhastussüsteemi, PLC-juhitavat elektroonikast ning HMI-puutekraani. Iga tööjaamaga on kaasas vahetatav nägemisklaas ning (4) KF40-süsteemid. Meie standardkonfiguratsioonid hõlmavad ülekande eelkamberid, samuti Edwards'i vaakumpump.
Kõik VTI universaalkäepideme kastid on puhtad < 1 ppm O2 ja H2O.
F- Ehted
Kaascirkulaator
Inertne gaas suletud ringis. Gaas ringleb puhustaja ja puhastaja kaudu, H2O, O2 saab pidevalt eemaldada.
Autovälitamine
Õhkkonna asendamine kindalaasese sees saab toimuda automaatselt puhastusainetest.
Automaatne taastumine
H2O ja O2 eemaldamise materjali saab regenereerida. Regenereerimisprotsessi saab programmeerida.
Automaatne rõhu reguleerimine
Sõiduki pingeid reguleerib automaatselt programmeeritav loogiline reguleerija (PLC). Töörõhk võib olla paigaldatav kas +15- ja -15-mbari vahel või +12- ja -12-mbari vahel. Kui rõhk ületab seaditud vahemikku, kaitseb süsteem automaatselt.
Öko režiim
Vaakumpump aktiveerub vajaduse korral automaatselt ja kustutatakse pärast tühja töötamise perioodi. Kui niiskuse ja hapnikutaseme tase on alla 1 ppm, lülitatakse puhustaja sagedus 25 Hz-ni.
sspetsifikatsioonid
Peakambris
Modulaarne pikkus: 1220mm/1500mm/1800mm/2440mm (48,0/59,1/70,9/ 96,0)
Modulaarne sügavus: 750 mm/1000 mm/1200 mm (29,5/39,4/47,2)
Modulaarne kõrgus: 900 m ((35,4)
Materiaal: roostevabast terasest tüüp 304, paksus 3 mm (1/8)
Nägemisaknad: kalduv, ohutusklaas, paksus 8 mm (1/3)
Käepidemed: POM (polüoksümetüleen), 220 mm (8,7) läbimõõt
8B1532 kindad
Tolmufilter: HEPA 0,3 μ, üks gaasi sisselaskepunkt, üks gaasiväljapääs
Raamid: roostevabast terasest, kaks püsihulki (võimalikud reguleeritavad riiulid)
Valgustus: LED-valgustid, mis on paigaldatud ees klaasi kohal.
Toitevoolud: üks toitevool, 3 pimeda flanget
Suur eelkamber
Läbimõõt: 360 mm (14,2) või 400 mm (15,7), pikkus 600 mm (23,6)
muud, kuid mitte rohkem kui 50 cm
Spindellukukeseuk, vertikaalne töö tõstmekohusega
automaatne töö magnetventiilidega
Väike eelkamber
Läbimõõt 150 mm (5.9) või 100 mm (3.9), pikkus 300 mm ((11.8)
Kinnitud uks
Käsitöötamine käsiklappide abil
puhastaja
H eemaldamine2O ja O2Vähem kui 1 ppm niiskust ja hapnikku
Absorbeerühik: 5 kg Vasekataliator,5 kg Molekülsiit
Hapnikku eemaldamise võimsus, 60 l, niiskus 2000 g.
Kapsulised õhutussüsteemid: 90 m3/h
Regenereerimine: PLC juhatab kõiki protsesse, sealhulgas kuumutamist, segugasi (töögaas, mis on segatud vesinikuga 5-10%) sisselaskmist jne.
Süsteemi juhtimine
PLC ja HMI: Siemens S7
Vaakumpump
8 m3/h Rotorpallipumpa õlituvafiltritega ja gaasiballastitega
OValikud ja tarvikud
Lisaseadmete valikud
Niiskuseandur
Hapnikusensor
Lahustide absorbeer
Soojendatud eelkamber
Külmkapp
Külm kaevu
Mikroskoobikomplekt
Ionisator ilma ventilaatorita
Erinevad tagasiside
Muud võimalused
Isiklikult kohandatud karpide suurused
Kliendi seadmete integreerimineKäepidemiskasp, nagu evaporaator, ALD süsteem ja Spin Coater jne.
Polükarbonaatist aknad
Kiire väljaandmise aken
Eelmine tuba, lukustatava uksega
Väike kamber liugivate taldrikutega
Eelruumi puhastamine ainult ilma vaakumita
Eelmine kamber täidab gaasipaagist kasti asemel
Eeskamber
Paindlikud riiulid reguleeritavad üles ja alla reguleeritavad edasi ja tagasi
12 m3/h pöörlemispump
Kuiva rullimiskütt
Kiirteenus
AEbasoodsas olukorras
Kõrge võimsusega puhastaja
H kiirelt eemaldamine2O ja O2alla 1 ppm
Regenereerimistsüklite vahelised pikad intervallid.
PLC juhtimine ja värviline puutetundlik HMI
Automaatne puhastamine, ringlus, taaselustamine, rõhu reguleerimine, kasutajasõbralik liides.
Pikaealised niiskuse- ja hapnikunanalüüstid
p2O5Niiskuse detektor: Väikerohustuse vastane, Taastuv hape-puhastuse teel kui detektor on saastunud HF-ga või muude korrosiivsete keskkonna mõjude tõttu.
ZrO2Suvre sensor: Tugev sensor, pika eluiga, võib olla alt leitud õhus ilma kulutamata jäädes.
kohandada kindlustuslaek spetsiaalselt teie rakenduse
Meie inseneriteam aitab teie ideed lahendusteks muuta.
Ruudumisvaba terasest gaasiputked ja -ühendused
Kõikkindalaekadon täiendatud roostevabast terasest torude ja ühendite kasutamiseks, mis on palju kõvemad söövitusvastased väga söövitavas keskkonnas.