Superpro kindlastik

tehnilised kirjeldused

peakambris
modulaarne pikkus: 1220mm/1500mm/1800mm/2440mm (48,0/59,1/70,9/ 96,0)
modulaarne sügavus: 750 mm/1000 mm/1200 mm (29,5/39,4/47,2)
Modulaarne kõrgus: 900m ((35,4)
materjal: roostevabast terasest tüüp 304, paksus 3 mm (1/8)
vaateaknad: kalduv, ohutusklaas, paksus 8 mm (1/3)
kindade port: pom (polüoksümetüleen), läbimõõt 220 mm (8,7)
kindad: 8b1532
tolmufilter: hepa 0,3μ, üks gaasi sisselaskepunkt, üks gaasiväljapääs
Raamid: roostevabast terasest, kaks fikseeritud riiuli (võimalus reguleeritavatele riiulidele)
valgustus: välised LED-valgustid, mis on paigaldatud ees ette nägemisklaasi kohal.
Toitevoolud: üks võimsusevoolud, 3 pimeda flanget

suur eelkamber
läbimõõt: 360 mm (14,2) või 400 mm (15,7), pikkus 600 mm (23,6)
kaetud või kaetud
spindellukukese, vertikaalne töö tõstmekohusega
automaatne uksesüsteem, nii sisekinnad kui ka välised uksed on lukustatud.

väike eelkamber
läbimõõt 150 mm (5.9) või 100 mm (3.9), pikkus 300 mm ((11.8)
kiilukeseuk
Käsikäik käsitsi käepalbli abil

puhastaja
H2O ja O2 eemaldamine vähem kui 1 ppm niiskuse ja hapniku
absorbeerühik: 5 kg vasekatalitol, 5 kg molekulaarsite
hapniku eemaldamise võimsus, 60 l, niiskus 2000 g.
Kapseldatud puhur: 90m3/h
Regenereerimine: plc-juhtimine kogu protsessi, sealhulgas kütmine, segugasi (kasutusgaas, mis on segatud vesinikuga 5-10%) sisselaskmine jne.

süsteemi juhtimine
Siemens S7
Asjade interneti kontseptsiooni alusel, et realiseerida kaugjuhtimist ja diagnoosimist

Vaakumpump

8m3/h pöördpump õlipihusti filtriga ja gaasiballastiga

Lisainformatsiooni saamiseks palun vaadake meie spetsifikatsioonilehte.

omadused

kindlastikku kaugjuhtimine ja juhtimine
kasutajad saavad oma arvutist või nutitelefonist kontrollida kindalaua töötingimusi.

andmekirptograafia ja varukoopia
Kui toimub andmeedastuse viga, katkestus, korruptsioon või kaotus võrgu ebaõnnestumise tõttu, saavad kasutajad taastada ja jälgida seadmete ajaloolisi andmeid meie süsteemi kaudu. saate konfigureerida tulemüürit, et tagada andmete terviklikkus ja turvalisus.

häire
kui seadmed katki lähevad, saadab süsteem kasutajale teate ja alustab automaatselt katkemise kaitsmise protseduuri.

kaugdiagnostika ja kohandused
Meie insenerid saavad süsteemi kaugelt kasutada, parandusest lahti teha ja taastada.

Internetipõhine abi
Kasutajad saavad kasutada meie veebipõhist abilehekülge, et ise lahendada probleeme.

Tasuta klienditeenindus veebis
Pakume veebipõhiseid sidevahendeid (e-posti, vestlus, videokonverents jne) meie teeninduspersonali või inseneridega, et lahendada probleemid, kui need tekivad.

oValikud ja tarvikud

lisaseadmete valikud
niiskuseandur
hapnikusensor
lahustide absorbeer
soojendatud eelkamber
külmkapp
külm kaev
mikroskoobiüksus
ioniseerija ilma ventilaatorita
mitmesugused tagasiside

muud võimalused
kohandatud karpide suurused
Kliendi instrumentide integreerimine kindakasti, nagu aurusti, ALD süsteem ja spin-katte seade jne.
polükarbonaadist aknad
Kiire vabastamise aken
Eelmine tuba, lukustatava uksega
väike kamber liugivate taldrikutega
Eelruumi puhastamine ainult ilma vaakumita
Eelmine kamber, mis täidab gaasipaagist kasti asemel
ristkülikukujuline eelkamber
paindlikud riiulid reguleeritavad üles ja alla reguleeritavad edasi ja tagasi
12 m3/h pöörlemispump
kuiva rullimiskump
Kiirteenindus