ET
- mudelit
- tehnilised kirjeldused
- omadused
- Eelis
- lisaseadmed
mudelit
| mudelit | super | üldine | kõrgkoolis | Pro | |
|
tööpinna mõõtmed (mm) 1 / h |
ühekordne (ühekordsed) |
1220 × 750 × 900 |
1220 × 750 × 900 | 1220 × 750 × 900 | |
| kahetasandi (ühekülgne) |
2440×750×900 1800 × 750 × 900 |
2440×750×900 1800 × 750 × 900 |
2440×750×900 1800 × 750 × 900 |
||
| kahekordne jaam (vastane) | 1220 × 1000 × 900 | 1220 × 1000 × 900 | 1220 × 1000 × 900 | ||
| kolmekordsed kindad (ühekäeline) |
1500 × 750 × 900 1800 × 750 × 900 |
1500 × 750 × 900 1800 × 750 × 900 |
1500 × 750 × 900 1800 × 750 × 900 |
||
| kolmest jaamast (ühekülgne) | 3660 × 750 × 900 | 3660 × 750 × 900 | 3660 × 750 × 900 | ||
| 4-jaam (ühekäeline) | 4880 × 750 × 900 | 4880 × 750 × 900 | 4880 × 750 × 900 | ||
| 4 jaama (vastane) | 2440 × 1000 × 900 | 2440 × 1000 × 900 | 2440 × 1000 × 900 | ||
| 6 jaama (vastpool) |
3660 × 1000 × 900 3660 × 1200 × 900 |
3660 × 1000 × 900 3660 × 1200 × 900 |
3660 × 1000 × 900 3660 × 1200 × 900 |
||
| 8 jaama (vastpool) |
4880 × 1000 × 900 4880 × 1200 × 900 |
4880 × 1000 × 900 4880 × 1200 × 900 |
4880 × 1000 × 900 4880 × 1200 × 900 |
||
| 12 jaama (vastpool) | 7320 × 1000 × 900 | 7320 × 1000 × 900 | 7320 × 1000 × 900 | ||
| juhtimissüsteem | Siemens S7 | Siemens S7 | Siemens S7 | Siemens S7 | |
| puudutusekraan | Siemens S7′′ puudutusekraan | Siemens S7′′ puudutusekraan | Siemens S7′′ puudutusekraan | Siemens S7′′ puudutusekraan | |
| puhastusküllad | veergu | veergu | kahekorruselised veerud | Kolonn/kakskolonn | |
| fännid | 90 m3 / h | 90 / 145 / 180 m3 / h | 90 / 145 / 180 m3 / h | 90 / 145 / 180 m3 / h | |
| Vaakumpump | 8 m3 / h | 8 / 12 / 16 m3 / h | 8 / 12 / 16 m3 / h | 8 / 12 / 16 m3 / h | |
| vee näitajad | < 1 ppm | < 1 ppm | < 1 ppm | < 1 ppm | |
| hapnikuhindeks | < 1 ppm | < 1 ppm | < 1 ppm | < 1 ppm | |
| väike eelkamber | 150 mm (5,9) või 100 mm (3,9), pikkus 300 mm (9,8) | 150 mm (5,9) või 100 mm (3,9), pikkus 300 mm (9,8) | 150 mm (5,9) või 100 mm (3,9), pikkus 300 mm (9,8) | ||
| suur eelkamber | 360 mm (14,2) või 400 mm (15,7), pikkus 600 mm (23,6) | 360 mm (14,2) või 400 mm (15,7), pikkus 600 mm (23,6) | 360 mm (14,2) või 400 mm (15,7), pikkus 600 mm (23,6) | ||
| kohaldada |
Uuringud ülikoolide ja teadusasutuste jaoks |
mitmekülgne sobivad teadusuuringute ja väikeste tootmisvõimsustega |
tootmine sobivad tõhusaks suurtootmiseks |
Uuringud/arendus/kõnevõime/tootmine | |
tehnilised kirjeldused
| omadused: |
|
|
|
|
|
|
peakambrismõõtmed |
||
|
pikkus |
1220mm (48.0”) |
|
|
sügavusega |
750 mm (29,5) |
|
|
kõrgus |
900 m (35,4) |
|
|
materjalide |
roostevabast terasest tüüp 304, paksus 3 mm (1/8) |
|
|
nägemisaknad |
kalduv, turvaklaas, paksus 8 mm (1/3) |
|
|
kindad |
pom (polüoksümetüleen), 220 mm (8,7) läbimõõt |
|
|
käed |
butüül 8b1532 |
|
|
tolmufilter |
hepa 0,3 μ, üks gaasi sisselaskepunkt, üks gaasiväljapääs |
|
|
riiulide paigaldamine |
roostevabast terasest, kaks fikseeritud riiuli (võimalus reguleeritavatele riiulidele) |
|
|
valgustus: |
välised LED-valgustid, ees paigaldatud silmklaasi kohal |
|
|
tagasiside |
üks vooluvool, 3 pimeda flangsi |
|
|
suur eelkamber |
||
|
läbimõõt |
360 mm (14,2) või 400 mm (15,7), pikkus 600 mm (23,6) |
|
|
omadused |
kaetud või kaetud spindellukukese vertikaalne töö tõstmekanismidega automaatne töö magnetventiili kaudu |
|
|
väike eelkamber |
||
|
läbimõõt |
150 mm (5,9) või 100 mm (3,9), pikkus 300 mm (9,8) | |
|
omadused |
Hängekinnitus |
|
|
puhastaja |
||
|
omadused |
h eemaldamine2o ja o2vähem kui 1 ppm niiskuse ja hapnikuga |
|
|
absorbeerühik: 5 kg vasekatalitol, 5 kg molekulaarsite |
||
|
hapniku eemaldamise võimsus, 60 l, niiskus 2000 g. |
||
|
kapsliteeritud puhaldaja: 90 m3/h |
||
|
Regenereerimine: plc-juhtimine kogu protsessi, sealhulgas kütmine, segugasi (kasutusgaas, mis on segatud vesinikuga 5-10%) sisselaskmine jne. |
||
|
süsteemi juhtimine |
||
|
Siemens S7 |
||
|
Vaakumpump |
||
|
8 m3/h pöörlemissilblipump õlituvafiltritega ja gaasiballastitega |
||
omadused
Eelis
| tunnus/komponent | kirjeldus/täpsused | |
|---|---|---|
| 1 | suurvõimsusega puhastaja | - kiired hüdroksiidi ja o2 eemaldamine alla 1 ppm<br>- pikad ajavahemikud regenereerimismetsade vahel |
| 2 | PLC-juhtimine ja värviline puudutusekraan | - automaatne puhastamine; ringlus; regenereerimine; rõhu reguleerimine<br>- kasutajasõbralik liides |
| 3 | pikka eluiga niiskuse ja hapnikut analüüsijad | - p2o5 niiskuseandur: korrosioonikindel, taastuv happe puhastamisega, kui see on saastunud hf- või muu söövitava keskkonnaga<br>- zro2 hapnikusandur: tahke aineandur, pikk eluiga, mida saab ilma tarbimata õhku lasta |
| 4 | kohandatud kindalümbris | - meie inseneriteam võib aidata teie ideed lahenduseks muuta |
| 5 | ruudumisvaba terasest gaasiputked ja -ühendused | - kõik kindluskastid on uuendatud roostevabast terasest torude ja ühendite juurde, mis on palju kõvemad korrosioonikindlad väga söövitavas keskkonnas |
lisaseadmed
| lisaseadmete valik: | ||
| niiskuseandur | hapnikusensor | lahustide absorbeer |
| soojendatud eelkamber | külmkapp | külm kaev |
| mikroskoobiüksus | ioniseerija ilma ventilaatorita | mitmesugused toitevood |
muud võimalused: | |
kohandatud karpide suurused |
Kliendi seadmete integreeriminekäepunkt, nagu evaporaator, ALD süsteem ja Spin Coater jne. |
polükarbonaadist aknad |
Eelmine tuba, lukustatava uksega |
| väike kamber liugivate taldrikutega | Eelruumi puhastamine ainult ilma vaakumita |
| Eelmine kamber, mis täidab gaasipaagist kasti asemel | ristkülikukujuline eelkamber |
paindlikud riiulid reguleeritavad üles ja alla reguleeritavad edasi ja tagasi |
12 m3/h pöörlemispump |
kuiva rullimiskump |
Kiirteenindus |
