ET
- lisaseadmed
lisaseadmed
- sobivad metalli-, pooljuhi-, oksüdeeriva ja orgaanilise filmi, oled-, pled-, päikese- ja muude rakenduste jaoks
- Evaporator integreeritaks kas varrustuskaasti põhjas või külasmuuseumi seinikäepidemiskastik
- suurvõimsusega puhastaja, mille saavutatav puhtus on alla 1 ppm
- mis on valmistatud vähemalt järgmiste materjalide valmistamiseks:
- statilises protsessis võib kindalaua puhtus ulatuda 10
- Filtratsiooni osakeste suurus: 0,12 μm
- kõrge tõhususega filtre H13 klassi kuni ultra kõrge tõhususega filtre U15 klassi
- saadaval paljudes konfiguratsioonides ja tööjaamade suurustes
