περοβσκίτης
κατάλληλο για μεταλλικές, ημιαγωγικές, οξειδωτικές και οργανικές ταινίες, OLED, pled, ηλιακές και άλλες εφαρμογές
ο εξατμιστής θα ενσωματώθηκε είτε στο πάτωμα είτε στον πλευρικό τοίχο του κιβωτίου γάντι
- Συσκευές
Συσκευές
εφαρμογή OLED/Pled και ηλιακών κυψελών
κατάλληλο για μεταλλικές, ημιαγωγικές, οξειδωτικές και οργανικές ταινίες, OLED, pled, ηλιακές και άλλες εφαρμογές
Ο εξατμιστής θα ενσωματωθεί είτε στο δάπεδο είτε στον πλευρικό τοίχο τηςΚεφαλάκι
Με καθαριστή υψηλής χωρητικότητας με εφικτή καθαρότητα h2o και o2 μικρότερη από 1ppm
με σύστημα καθαρισμού υπερυπέρυθρης καθαρότητας στην κορυφή
στην στατική διαδικασία, η καθαρότητα του κιβωτίου γάντι μπορεί να φτάσει το 10
μέγεθος σωματιδίων διήθησης: 0,12μm
υψηλής απόδοσης φίλτρας κλάσης H13 έως εξαιρετικά υψηλής απόδοσης φίλτρας κλάσης U15
διαθέσιμα σε πολλές διαμορφώσεις και μεγέθη σταθμών εργασίας