EL
- Αξεσουάρ
Αξεσουάρ
Εφαρμογή OLED/PLED και ηλιακών κυψελών
Κατάλληλο για μέταλλο, ημιαγωγούς, οξειδωτικές και οργανικές ταινίες, OLED, PLED, ηλιακές και άλλες εφαρμογές
Ο εξατμιστής θα ενσωματωθεί είτε στο δάπεδο είτε στον πλευρικό τοίχο της Κεφαλάκι με γάντια
Με υψηλή χωρητικότητα Καθαριστήρας με εφικτή καθαρότητα H2O και O2 μικρότερη από 1 ppm
Με το σύστημα καθαρισμού στην κορυφή
Στην στατική διαδικασία, η καθαρότητα του κιβωτίου γάντι μπορεί να φτάσει το 10
Μέγεθος σωματιδίων διήθησης: 0,12μm
Φίλτρο υψηλής απόδοσης κλάσης H13 έως κλάση φίλτρου υπερ-υψηλής απόδοσης U15
Διατίθεται σε πολλές διαμορφώσεις και μεγέθη σταθμών εργασίας
