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- Modell
- Spezifikationen
- Merkmale
- Vorteil
- Zubehör
Modell
| Modell | - Ich bin super. | Allgemein | fortgeschritten | Pro | |
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Betriebsfläche Abmessungen (mm) L / w / h |
Einbahnstation (einseitig) |
1220 × 750 × 900 |
1220 × 750 × 900 | 1220 × 750 × 900 | |
| mit einer Breite von mehr als 20 mm, |
2440 × 750 × 900 1800 × 750 × 900 |
2440 × 750 × 900 1800 × 750 × 900 |
2440 × 750 × 900 1800 × 750 × 900 |
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| mit zwei Stationen (gegenüber) | 1220 × 1000 × 900 | 1220 × 1000 × 900 | 1220 × 1000 × 900 | ||
| Dreifachhandschuhe (einseitig) |
1500 × 750 × 900 1800 × 750 × 900 |
1500 × 750 × 900 1800 × 750 × 900 |
1500 × 750 × 900 1800 × 750 × 900 |
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| mit einer Leistung von mehr als 50 W | 3660 × 750 × 900 | 3660 × 750 × 900 | 3660 × 750 × 900 | ||
| 4 Stationen (einseitig) | 4880 × 750 × 900 | 4880 × 750 × 900 | 4880 × 750 × 900 | ||
| 4 Stationen (gegenüber) | 2440 × 1000 × 900 | 2440 × 1000 × 900 | 2440 × 1000 × 900 | ||
| 6 Stationen (gegenüber) |
3660 × 1000 × 900 3660 × 1200 × 900 |
3660 × 1000 × 900 3660 × 1200 × 900 |
3660 × 1000 × 900 3660 × 1200 × 900 |
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| 8 Stationen (gegenüber) |
4880 × 1000 × 900 4880 × 1200 × 900 |
4880 × 1000 × 900 4880 × 1200 × 900 |
4880 × 1000 × 900 4880 × 1200 × 900 |
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| 12 Stationen (gegenüber) | 7320 × 1000 × 900 | 7320 × 1000 × 900 | 7320 × 1000 × 900 | ||
| Steuerungssystem | Siemens S7 | Siemens S7 | Siemens S7 | Siemens S7 | |
| Berührungsschirm | Siemens S7′′ Touchscreen | Siemens S7′′ Touchscreen | Siemens S7′′ Touchscreen | Siemens S7′′ Touchscreen | |
| Reinigungssäulen | Spalte | Spalte | Doppelkolonnen | Spalte/Doppelspalte | |
| Ventilatoren | 90 m3 / h | 90 / 145 / 180 m3 / h | 90 / 145 / 180 m3 / h | 90 / 145 / 180 m3 / h | |
| Vakuumpumpe | 8 m3 / h | 8 / 12 / 16 m3 / h | 8 / 12 / 16 m3 / h | 8 / 12 / 16 m3 / h | |
| Wasserindikatoren | < 1 ppm | < 1 ppm | < 1 ppm | < 1 ppm | |
| Sauerstoffindex | < 1 ppm | < 1 ppm | < 1 ppm | < 1 ppm | |
| kleine Vorkammer | 150 mm (5,9) oder 100 mm (3,9), Länge 300 mm (7,8) | 150 mm (5,9) oder 100 mm (3,9), Länge 300 mm (7,8) | 150 mm (5,9) oder 100 mm (3,9), Länge 300 mm (7,8) | ||
| Großes Vorzimmer | 360 mm (14,2) oder 400 mm (15,7), Länge 600 mm (23,6) | 360 mm (14,2) oder 400 mm (15,7), Länge 600 mm (23,6) | 360 mm (14,2) oder 400 mm (15,7), Länge 600 mm (23,6) | ||
| Anwendung |
FuE für Universitätsforschungsinstitute |
versatile für Forschung und Kleinproduktion geeignet |
Produktion für eine effiziente Großproduktion geeignet |
FuE/Vielseitigkeit/Produktion | |
Spezifikationen
| Merkmale: |
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HauptkammerAbmessungen |
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Länge |
1220mm (48.0”) |
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Tiefe |
750 mm (29,5) |
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Höhe |
900 m (35,4) |
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Material |
mit einem Gehalt an Stahl von mehr als 0,05 mm2 |
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Sichtfenster |
Schrägglas, mit einer Dicke von 8 mm (1/3) |
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Handschuh-Hafen |
mit einem Durchmesser von 220 mm (8,7) |
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Handschuhe |
Butyl 8b1532 |
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Staubfilter |
Hepa 0,3 μ, ein Gas-Eingang, ein Gas-Ausgang |
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Haltestelle |
Edelstahl, zwei feste Regale (verstellbare Regale verfügbar) |
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Beleuchtung: |
Außenleuchten, vorne über Sichtglas montiert |
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Rücklaufquellen |
mit einer Leistungsspeicherung, 3 Blindflächen |
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Großes Vorzimmer |
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Durchmesser |
360 mm (14,2) oder 400 mm (15,7), Länge 600 mm (23,6) |
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Merkmale |
mit Schiebetasse Schleusen mit Spindel vertikaler Betrieb mit Hebemechanismus mit einer Breite von mehr als 20 mm, |
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kleine Vorkammer |
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Durchmesser |
150 mm (5,9) oder 100 mm (3,9), Länge 300 mm (7,8) | |
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Merkmale |
Scharniertür |
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Reiniger |
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Merkmale |
Entfernung von h2o und o2weniger als 1 ppm Feuchtigkeit und Sauerstoff |
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Absorber-Einheit: 5 kg Kupferkatalysator,5 kg Molekularsiet |
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Die Absaugfähigkeit von Sauerstoff, 60 l, Feuchtigkeit 2000 g. |
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Kapselblaser: 90 m3/h |
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Regeneration: Die PLC steuert alle Prozesse einschließlich Heizung, Einführung von Mischgasen (Arbeitsgas mit Wasserstoff 5-10%) usw. |
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Systemsteuerung |
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plc und HMI: Siemens S7 |
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Vakuumpumpe |
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8 m3/h Drehschubpumpe mit Ölnebelfilter und Gasballast |
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Merkmale
Vorteil
| Merkmal/Komponente | Beschreibung/Details | |
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| 1 | Hochleistungsreiniger | - schnelle Abnahme von H2O und O2 auf weniger als 1 ppm<br> - lange Intervalle zwischen Regenerationszyklen |
| 2 | PLC-Steuerung und Farb-Touchscreen HMI | - automatische Säuberung; Kreislauf; Regeneration; Druckregelung<br>- benutzerfreundliche Schnittstelle |
| 3 | Langlebigkeits-Feuchtigkeits- und Sauerstoffanalysatoren | - p2o5 Feuchtsensor: korrosionsbeständig, durch Säure reinigen kann, wenn durch HF oder andere ätzende Umgebungen kontaminiert<br>- zro2 Sauerstoffsensor: Feststoffsensor, lange Lebensdauer, kann ohne Verbrauch Luft ausgesetzt werden |
| 4 | Handschuhkasten | - unser Ingenieursteam kann helfen, Ihre Idee in eine Lösung umzusetzen |
| 5 | Rohre und Verbindungen aus Edelstahl | - alle Handschuhkästen wurden auf Rohre und Steckverbinder aus Edelstahl mit einer viel höheren Korrosionsbeständigkeit für stark korrosive Umgebungen umgestellt |
Zubehör
| Auswahl der Zubehörteile: | ||
| Feuchtigkeitssensor | Sauerstoffsensor | Absorber für Lösungsmittel |
| Erwärmter Vorraum | Kühlschrank | Kaltes Brunnen |
| Mikroskop-Einheit | Ionisierer ohne Lüfter | verschiedene Futterwege |
andere Möglichkeiten: | |
angepasste Kartongrößen |
Integration der Instrumente des Kunden in dasHandschuhkasten, wie Evaporator, ALD-System und Spin Coater usw. |
Polycarbonatfenster (s) |
Vorraum mit verschließbarer Tür |
| Kleine Kammer mit Schiebetasse | Antechamber-Spülung nur ohne Vakuum |
| Vorkammer aus der Gasflasche statt aus der Box | Rechteckige Vorkammer |
Flexible Regale nach oben und unten verstellbar nach vorne und zurück verstellbar |
12 m3/h Drehpumpe |
Trockenrollenpumpe |
Schnelle Dienstleistung |
