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OLED/Pled und Solarzellen
- für Metall-, Halbleiter-, Oxidations- und organische Folie, OLED, Pled, Solar und andere Anwendungen geeignet
- Der Verdampfer wird entweder in den Boden oder in die Seitenwand des Handschuhkästchens integriert.
- mit einem hohen Reinigungsvolumen mit einer erreichbaren Reinheit von weniger als 1 ppm H2O und O2
- mit einem hochreinen Reinigungssystem auf der Oberseite
- Bei statischem Verfahren kann die Reinheit des Handschuhkästchens 10
- Filtrationspartikelgröße: 0,12 μm
- Filter mit hohem Wirkungsgrad von H13 bis zu Filtern mit hochem Wirkungsgrad von U15
- in vielen Konfigurationen und Arbeitsplatzgrößen erhältlich
