OLED/Pled und Solarzellen

für Metall-, Halbleiter-, Oxidations- und organische Folie, OLED, Pled, Solar und andere Anwendungen geeignet
Der Verdampfer wird entweder in den Boden oder in die Seitenwand des Handschuhkästchens integriert.
mit einem hohen Reinigungsvolumen mit einer erreichbaren Reinheit von weniger als 1 ppm H2O und O2
mit einem hochreinen Reinigungssystem auf der Oberseite
Bei statischem Verfahren kann die Reinheit des Handschuhkästchens 10
Filtrationspartikelgröße: 0,12 μm
Filter mit hohem Wirkungsgrad von H13 bis zu Filtern mit hochem Wirkungsgrad von U15
in vielen Konfigurationen und Arbeitsplatzgrößen erhältlich

fortgeschritten

Individuelle Lösungen1