Aplikace OLED/PLED a solárních článků

Vhodné pro kovové, polovodičové, oxidační a organické fólie, OLED, PLED, solární a jiné aplikace

Evaporátor by se integroval do podlahy nebo boční stěny rukavice Skříňka s rukavičkami

S vysokokapacitním čističem s dosažitelnou čistotou H2O a O2 méně než 1 ppm

S ultra-čistým systémem čištění nahoře

Ve statickém procesu může čistota odkládací schránky dosáhnout 10

Velikost filtračních částic: 0,12μm

Vysoce účinný filtr třídy H13 až ultra vysoce účinný filtr třídy U15

K dispozici v mnoha konfiguracích a velikostech pracovních stanic