perovskit
vhodný pro kovové, polovodičové, oxidační a organické fólie, OLED, Pled, solární a jiné aplikace
Odpařovač by byl integrován buď do podlahy nebo boční stěny krabice s rukavičkami
- Přídavné věci
Přídavné věci
OED/Pled a solární články
vhodný pro kovové, polovodičové, oxidační a organické fólie, OLED, Pled, solární a jiné aplikace
Evaporátor by se integroval do podlahy nebo boční stěny rukavicerukavice
s vysokou kapacitou čističe s dosažitelnou čistotou h2o a o2 nižší než 1 ppm
s ultračistým čisticím systémem na vrcholu
v statickém procesu může čistotní úroveň krabice dosáhnout 10
velikost filtrovaných částic: 0,12 μm
třída filtrů s vysokou účinností od třídy h13 do třídy filtrů s ultravysokou účinností u15
dostupný v mnoha konfiguracích a velikostech pracovních stanic