EN
ОЛЕД/ПЛЕД и слънчеви клетки
- подходящ за метални, полупроводникови, окислителни и органични филми, OLED, Pled, слънчеви и други приложения
- изпарителят ще бъде интегриран в пода или страничната стена на шасито за ръкавици
- с висококапацитетни пречистватели с постижима чистота на h2o и o2 по-малка от 1ppm
- с ултрачиста система за пречистване на върха
- при статичен процес чистотата на кутията за ръкавици може да достигне 10
- размер на филтърните частици: 0,12μm
- от h13 до u15 клас филтри с изключително висока ефективност
- налични в много конфигурации и размери на работните станции
