البيروفسكيت
مناسبة للمعادن والشاشات شبه الموصلة والأكسدة والفيلم العضوي والزيت المزروع والطاقة الشمسية وغيرها من التطبيقات
سيتم دمج المبخر في أرضية أو جدار الجانب من صندوق القفازات
- الملحقات
الملحقات
تطبيق OLED/Pled والخلايا الشمسية
مناسبة للمعادن والشاشات شبه الموصلة والأكسدة والفيلم العضوي والزيت المزروع والطاقة الشمسية وغيرها من التطبيقات
سيتم دمج البخاري إما في الأرضية أو الجدار الجانبي لصندوق القفازاتصندوق القفازات
مع معقّل ذو قدرة عالية بحقيقة نقاء يمكن تحقيقها من ه2و و o2 أقل من 1ppm
مع نظام تنقية نظيف للغاية في الجزء العلوي
في العملية الثابتة، نظافة صندوق القفازات يمكن أن تصل إلى 10
حجم جسيمات الترشيح: 0.12μm
تصفية عالية الكفاءة من الدرجة h13 إلى تصفية عالية الكفاءة للغاية من الدرجة u15
متوفرة في العديد من التكوينات وأحجام محطات العمل